第二代精密离子减薄仪 (PIPS II)是第一代 PIPS 离子减薄仪革命性的升级产品,性能得到进一步增强;Gatan PIPS 离子减薄仪在过去 20 年内被视为TEM 样品制备的标准工具。可应用于半导体、金属、陶瓷样品等。
技术参数:
离子源
离子枪:两个具有低能聚焦特性的潘宁离子枪
减薄角度:+10° 到 -10°, 每个离子枪均可独立调节
离子束能量:100 V 到 8.0 kV
离子束流密度:10m A/cm2 峰值
离子束对中:利用荧光屏精确对中
离子束直径:可由气流控制器或放电电压来调节
样品台
样品大小:3 mm 或 2.3 mm
样品旋转:1 到 6 rpm 连续可调
束流调制:扇形范围可调的单束调制或双束调制
X, Y 平移:在 X 和 Y 方向上各 +/- 0.5 mm
真空系统
干泵系统:两级隔膜泵支持 80 升/秒的涡轮分子泵
压力:5x10-6 托基本压力,8x10-5 托工作压力
真空规:冷阴极型,用于主样品室:固体型,用于前级机械泵