“快速扫描原子力显微镜划痕仪”为外购仪器与自行设计部件组装所构成的测试平台，其中外购的原子力显微镜可完成高精度的表面形貌、静电力EFM与磁场力MFM成像；而自行设计的表面纳米刻划与摩擦力测试部件可完成毫牛级载荷纳米划痕测试与表面摩擦力测试，表面接触电阻测试部件可完成材料表面接触电阻成像。上述内容涉及纳米表面力学、电学、磁学与形貌学等测试，是开展纳米表面科学与工程问题研究的基本手段。价值155，000美元。

主要系统部件和性能参数

• 压电运动平台

扫描运动范围：xy向90 mm×90 mm，z向10 mm，闭环噪音水平：xy向0.5 nm，z向0.2 nm

马达样品驱动台（x-y轴）：150 mm×150 mm，可编程进行多区域扫描

光学系统：500万像素数字摄像头，180 mm至1465 mm可视区域

• 表面形貌测试：接触、轻敲、峰值力模式，探针尖端曲率半径4-10 nm

• 磁场力MFM测量功能：轻敲抬高距离20-100 nm， 磁滞相移精度5×10^{-3 °}

• 静电力EFM测量功能：加载电压-10~+10 V（低）/-220~+220 V（高），静电力分辨率0.3 mV

• 纳米刻划测试功能：刻划力范围100 uN至10 mN，刻划速度6 mm/s，刻划长度1-150 mm

• 表面摩擦力测试功能：摩擦力分辨率100 mN，切向运动速度0.1 mm/s至10 mm/s

• 表面接触电阻测试功能：精度kW~MW级

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