DEKTAK-XT型表面台阶仪通过探测纳米探针在被测样品表面滑动时高低起伏的运动情况，实现对表面粗糙度的定量测量，通过扫描纳米薄膜与基体之间的高度差可以实现对膜厚的测量。利用多次扫描还可以获得表面三维形貌图像。另外还可以定量测量薄膜曲率，刻蚀深度等信息。价值299，600人民币。

性能参数：

    1  台阶高度重复性≤5Å（1um标准台阶）。 

2    配备4英寸手动样品台，移动范围100 mm×100 mm。

3   最高垂直分辨率≤1 Å。

4   垂直测量范围0-1 mm。

5   探针压力：1-15 mg, 软件可调，不破坏样品；

6   配备2 um探针2根。

7   配备1  um标准样品1个，狭缝探针1个，含VLSI校正证书。

8    提供自动台阶检测软件、粗糙度分析软件、应力测试软件。

9   扫描长度大于50 mm

10 具有64位系统软件。

11 具有快速更换探针功能，可快速、方便、安全地更换探针。

12 可放置高度50 mm的样品。

13 数据采样点≥120,000/扫描。

14 样品视景：可选放大倍率, 1到4 mmFOV。

主要用途：

用于微纳制造、薄膜生长/刻蚀、超光滑表面制造等研究中对表面三维形貌、狭缝深度、薄膜厚度、生长/刻蚀速率、表面粗糙度的定性/定量测量。