纳米表面科学与工程研究所200平米万级洁净间主要用于开展纳米表面制造，检测与应用方向的实验研究。该洁净间使用独立中央空调与150kW电力系统，由配电室，气体室，更衣间，风淋系统，实验室以及参观走廊组成，并配有危险气体警报与消防警报装置。洁净间主功能区包括大型实验室1间，小型实验室6间，以及百级超净硬盘开启系统2套。各实验室内都独立配备多路气体接口，用于不同气氛下的纳米表面行为研究；并留有专用气体排放通道，可与通风橱相连，用于开展特殊实验。耗资833,300元人民币。