纳米生物表面传感与电极及超高磁记录器件应用

研究目标

针对世界范围内关注的各类纳米器件与系统的研究，本项目所研究的ECR纳米机能加工系统将全面推动我国微纳器件与系统的整体加工水平，尤其是在需要表面改性的纳米器件。

研究内容

1. 生物纳米表面传感器是未来全球的最受关注的市场，传感器的表面处理显得尤为重要。本项目的研制成果ECR纳米表面碳膜性能稳定，可直接用于环境荷尔蒙检测用。我国是在全球上具有该传感器的最大市场，具有广阔的应用前景。

2. 随着纳米科学与工程技术的深入发展，为制造全新的具有不同性能的微纳米结构化表面，提升纳米尺度上的形状与亚纳米尺度上形貌控制加工，以两种典型的微纳米结构化表面：结构化模版与衍射光栅的精确制造为导向，开展ECR低能电子/离子照射下光顺化低粘附处理原理及方法。研究结果对于认识表面光滑处理纳米精度的制造极限以及维护精度保持性的抗粘附低摩擦表面改性源头创新能力具有重要意义。

3. 硬盘存储占信息存储总量的约20%以上，是极重要的信息存储方式之一。随着硬盘磁记录密度的不断增加，硬盘的磁间距和飞行高度要求不断降低，意味着磁盘表面碳膜保护层越来越薄。同时，在纳米级的飞行高度下，磁头与高速旋转的磁盘之间发生机械滑擦而造成磁记录介质发生退磁和数据丢失。因此，将ECR碳纳米结构表面应用在磁盘表面作为保护层，对于制造超光滑的表面和优越的抗刻划性能的硬盘保护层具有重要应用价值和意义。

预期成果

创立国际知名的“多学科交叉纳米表面应用”研究团队。