我所购置高精度探针台-薄膜半导体测试仪成功验收阅读次数 [3701] 发布时间 :2016-12-02 11:05:41

近日，我所购置高精度探针台-薄膜半导体测试仪安装调试成功，并进行了验收。该系统分为薄膜半导体测试仪（keithley 4200-SCS）和探针台（lakeshore TTPX） 两个组件。

一、薄膜半导体测试仪：型号为keithley 4200-SCS，价格37万。对于我们目前研究的纳晶石墨烯表面材料和器件，薄膜半导体测试仪设备具备以下的功能：(1). 具有非常高的灵敏度和测量精度漏电流小于nA。仪器的灵敏度非常高，设备提供的测试数据能够很好地了解新型材料、新型纳米器件的电学性能。（2）能够测量光照下和无光下的I-V曲线。(3). 我们需要对纳晶石墨烯表面材料的C-V参数进行分析。引进的设备扫频范围要足够宽（可到GHz），除测试电容-电压参数外，还必须能够对不同材料的工艺参数进行分析和计算，比如掺杂浓度、平带电压、氧化层厚度、栅面积、开启电压等，这些参数是用来评价器件的工艺性能。 

二、探针台：型号为lakeshore TTPX，价格40万。探针台可使科学家和研究员通过方便的、可重复的测量进行基础的科学研究并得到连续的结果，是一个多用的灵活的研究平台，可被用于专用的或者多用的团体研究资源。典型的应用包括样品在的电流电压曲线测试、光电流曲线等等。整体系统工作漏电流小于100fA。此款探针台还配有精密温控仪，可以控制温度在80K-475K范围内变化。

上图为高精度探针台-薄膜半导体测试仪验收现场；

左图为薄膜半导体测试仪；右图为探针台。