我所多功能ECR纳米表面加工系统成功验收阅读次数 [3761] 发布时间 :2015-07-13 13:04:32

近日，我所与日本SPUTTER-LAB公司共同研制的多功能电子回旋共振（ECR）等离子体加工系统安装成功并通过验收。机电与控制工程学院伍晓宇院长、杜建铭教授等专家对该设备进行了验收。

多功能ECR纳米表面加工系统主要由微波装置、电子回旋共振（ECR）等离子体溅射装置、气路和真空装置等部分组成，可实现离子和电子照射法制备薄膜，化学气相沉积法制备薄膜、离子刻蚀、电子表面抛光和元素掺杂等各种不同的薄膜加工工艺。由于多功能ECR纳米表面加工系统具有离子、电子两种照射方式以及对基片表面照射能量和元素掺杂含量的精确控制等优点，为制备和加工新型纳米表面提供了可能。

该设备详情请点击http://nanosurface.szu.edu.cn/cn/laboratory_detail.php?id=150